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  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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