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  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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