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  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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