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  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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