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  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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