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  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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