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  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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