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  1. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
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