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  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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