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  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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