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  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

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  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
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