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  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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