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  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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