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  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年6月
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