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  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

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  9. 恒温恒湿槽

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  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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