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  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

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  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
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