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  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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