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  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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