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  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
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