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  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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