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  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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