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  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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