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  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年3月
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