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  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
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