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  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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