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  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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