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  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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