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  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

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  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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