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  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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