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  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. ダイサー　ディスコ　DAD522

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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