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  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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