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  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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