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  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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