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  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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