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  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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