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  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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