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  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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