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  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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