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  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

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  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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