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  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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