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  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年5月
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