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  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
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