ウェブフォームモニタ

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
2026年6月
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