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  6. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  7. ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]

  8. プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]

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  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

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