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  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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