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  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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