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  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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