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  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
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