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  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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