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  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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