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  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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