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  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
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