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  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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