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  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

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  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
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