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  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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