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  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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