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  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
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