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  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
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