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  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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