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  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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