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  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
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