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  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
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