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  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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