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  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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