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  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
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