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  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
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