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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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ダイサー ディスコ DAD522
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ダイサー ディスコ DAD522
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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