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  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

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  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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