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  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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