ウェハー研磨機

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年6月
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