ウェハー研磨機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …
2026年9月
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