ウェハー研磨機

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
2026年6月
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