インプリント装置

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年10月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031