インプリント装置

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年10月
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