インバーター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
2026年6月
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