イオンプレーティング

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年10月
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