イオンコーター

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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