1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製
    型式：SVC-720 （M200316A04）
  2. RF電源

    RF電源（プラズマ電源）アステック製
    型式：ARF-1053 （M210320A06）
  3. EB電源

    EB電源（電子ビーム・電子銃電源）日新技研製
    型式：NEB-10W （M210108A25）
  4. 膜厚コントローラー

    膜厚コントローラー（Deposition Controller）
    インフィコン製　型式：IC/5 （M210108A20）
  5. ヘリウムコンプレッサー

    クライオコンプレッサー　鈴木商館製
    型式：C300K （M201116A01）
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製
    型式：PR-2KT （M201217A10）
  7. 恒温槽（防爆仕様）

    恒温槽（防爆仕様）ナガノサイエンス製
    型式：CH31-12M （M201217A08）
  8. セラミック電気管状炉

    セラミック電気管状炉　アサヒ理化製
    型式：ARF-50MC （M200714A13）
  9. プレッシャークッカー

    プレッシャークッカー　エスペック製
    型式：TPC-211 （M200308A05）
  10. ダイソーター、チップ移動機

    ダイソーター（チップ移載装置）　アクテス京三製
    型式：ACT-1000 （M201031A02）　　　　　　　　　　
  11. 産業用多関節ロボット・デンソーウェーブ・VP-6242-E/GM

    多関節産業ロボット（6軸）デンソー製
    型式：VP-6242-E/GM

  12. 冷熱衝撃試験機　エスペック製
    型式：TSA-301L-W （M210330A01）　

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