1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
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