株式会社未来産業技術研究所

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メーカー：オリオン機械　型式：RKS752J-MV

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小型水槽付きチラー　RKS-JMシリーズ
冷却能力：2.2kW
使用最低循環量：10L/min
冷却使用圧力：0.05～0.3MPa

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• 冷却水循環装置, chiller, ORION, RKS, オリオン機械, チラー

コンプレッサー（オイルフリー）アネスト岩田製<br>SLP-37EBD-S5 [M221201A03]

ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-400 （M210108A04）

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