株式会社未来産業技術研究所
メーカー:インフィコン(INFICON) 型式:
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST