株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ANDO安藤 型式:
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ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E