株式会社未来産業技術研究所
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…