株式会社未来産業技術研究所
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
プラズマクリーナー サムコ PC-300
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
ヒーター式インキュベーター PHC MIR-H163-PJ
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
VOCセンサー 理研計器 VOC-121H
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N