株式会社未来産業技術研究所
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…