株式会社未来産業技術研究所
マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
プラズマクリーナー サムコ PC-300
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114