株式会社未来産業技術研究所
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…