株式会社未来産業技術研究所
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …