株式会社未来産業技術研究所
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E