株式会社未来産業技術研究所
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000