株式会社未来産業技術研究所
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114