株式会社未来産業技術研究所
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …