株式会社未来産業技術研究所
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]