株式会社未来産業技術研究所
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM