株式会社未来産業技術研究所
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …