株式会社未来産業技術研究所
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…