株式会社未来産業技術研究所
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…