株式会社未来産業技術研究所
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…