株式会社未来産業技術研究所
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…