株式会社未来産業技術研究所
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400