株式会社未来産業技術研究所
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)