株式会社未来産業技術研究所
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
プラズマクリーナー サムコ PC-300