株式会社未来産業技術研究所
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…