株式会社未来産業技術研究所
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
恒温恒湿槽 ナガノサイエンス NST-S800
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
RF電源 RFPP RF10S
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
電気マッフル炉 島津製作所 MP-15
真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2