株式会社未来産業技術研究所
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E