株式会社未来産業技術研究所
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T