株式会社未来産業技術研究所
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…