株式会社未来産業技術研究所
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…