株式会社未来産業技術研究所
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…