株式会社未来産業技術研究所
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400