株式会社未来産業技術研究所
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
卓上型クリーンブース アズワン ピュアスペースPS0…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…