株式会社未来産業技術研究所
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…