株式会社未来産業技術研究所
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…