株式会社未来産業技術研究所
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…