株式会社未来産業技術研究所
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…