株式会社未来産業技術研究所
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…