株式会社未来産業技術研究所
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250