株式会社未来産業技術研究所
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250