株式会社未来産業技術研究所
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…