株式会社未来産業技術研究所
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T