株式会社未来産業技術研究所
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
プラズマクリーナー サムコ PC-300
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]