株式会社未来産業技術研究所
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
インテリジェントX線測定器 東洋メテック RaySafe …
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP