株式会社未来産業技術研究所
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…