株式会社未来産業技術研究所
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…