株式会社未来産業技術研究所
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…