株式会社未来産業技術研究所
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251