株式会社未来産業技術研究所
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…