株式会社未来産業技術研究所
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空乾燥機 アズワン AVO-310V