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1. 

   ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

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2. 

   ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-550 – [M250110A01]

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3. 

   ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

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4. 

   ターボ分子ポンプ　セイコー精機　STP-451-[M240717A02]

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5. 

   ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG220FCAB-[M241210A10]

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6. 

   ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

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   • 油拡散ポンプ
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7. 

   ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

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8. 

   ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36C-[M220718A01]]

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   • 真空ポンプ
9. 

   スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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10. 

    ドライポンプ　EBARA（荏原製）A07V-[M220408A08]

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11. 

    ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

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12. 

    ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

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