株式会社未来産業技術研究所
メーカー:アルバック(Ulvac) 型式:
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400