株式会社未来産業技術研究所
メーカー:アルバック(Ulvac) 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S