株式会社未来産業技術研究所
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…