恒温恒湿槽

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
2026年10月
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