恒温恒湿槽
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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恒温恒湿槽 エスペック製 SH-641-[M240904A08]
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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