恒温恒湿槽

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  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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