1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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