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  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 恒温恒湿槽

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  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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