1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930