1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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