1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年6月
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