1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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