1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  7. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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