1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年3月
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