1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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