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  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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