1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
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