1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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