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  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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