1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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