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  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

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  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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