1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2024年10月
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