株式会社未来産業技術研究所
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7