株式会社未来産業技術研究所
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-90…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]