株式会社未来産業技術研究所
メーカー:菊水電子工業 型式:
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]