非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製 CA-3110 R…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
