パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
