株式会社未来産業技術研究所
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテク…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式：V…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
