スクロールポンプ

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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