株式会社未来産業技術研究所
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
