クイックコーター

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  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

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  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

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  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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