クイックコーター

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  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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