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  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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