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  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  7. 恒温恒湿槽

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  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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