CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年8月
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