CVD装置

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年7月
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