CVD装置
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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RF電源 RFPP RF10S
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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