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  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

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  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

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  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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