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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

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  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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