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  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

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  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

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  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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