クリーンベンチ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年6月
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