クリーンベンチ

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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