クリーンベンチ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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