クリーンベンチ

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年7月
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