クリーンベンチ

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2024年10月
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