クリーンベンチ

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年4月
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