クリーンベンチ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 空冷チラー（ユニットクーラー）　オリオン機械　RKS…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年10月
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