クリーンベンチ

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  2. デジタル内視鏡・TESLONG・NTS300

    デジタル内視鏡（ハンドヘルド産業用ボアスコープ）<…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年5月
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