クリーンベンチ

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年11月
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