ペースト塗布ロボット

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年6月
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