プラズマアッシャー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2025年11月
月 火 水 木 金 土 日
 12
3456789
10111213141516
17181920212223
24252627282930