プラズマアッシャー

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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