プラズマアッシャー
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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デジタル内視鏡(ハンドヘルド産業用ボアスコープ)<…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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