ドラフトチャンバー

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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