ドラフトチャンバー

  1. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年6月
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