ドラフトチャンバー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年8月
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