耐電圧試験機

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年6月
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