耐電圧試験機

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年6月
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