耐電圧試験機

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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