耐電圧試験機

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…

  2. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  4. ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600

  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

  7. 恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  10. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  3. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  4. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…

  6. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  7. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  8. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  9. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  10. ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40

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