耐電圧試験機

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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