耐電圧試験機
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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