耐電圧試験機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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