耐電圧試験機

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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