耐電圧試験機

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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