耐電圧試験機

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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