耐電圧試験機

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年2月
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