耐電圧試験機

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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