耐電圧試験機

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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