耐電圧試験機

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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