耐電圧試験機

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年5月
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