耐電圧試験機

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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