耐電圧試験機
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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