耐電圧試験機

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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