耐電圧試験機

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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