耐電圧試験機

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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