耐電圧試験機

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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