耐電圧試験機

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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