耐電圧試験機

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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