耐電圧試験機

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年5月
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