耐電圧試験機

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年2月
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