耐電圧試験機

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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