耐電圧試験機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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