耐電圧試験機

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年6月
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