耐電圧試験機

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  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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