耐電圧試験機

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  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

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  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
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