耐電圧試験機

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年6月
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