耐電圧試験機

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年11月
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