耐電圧試験機

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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