プラズマ処理装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
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