プラズマ処理装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 恒温槽　エスペック　PH-402

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年7月
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