フォトレジスト

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  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

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  8. イオンコーター・日立・E-1010

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  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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