フォトレジスト
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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