フォトレジスト

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年1月
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