フォトレジスト

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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