フォトレジスト

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年1月
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