フォトレジスト

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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