フォトレジスト

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  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

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  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

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  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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