フォトレジスト

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年2月
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