フォトレジスト

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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