フォトレジスト

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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