フォトレジスト

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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