フォトレジスト

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  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

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  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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