フォトレジスト

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  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年2月
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