フォトレジスト

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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