フォトレジスト

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年11月
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