フォトレジスト

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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