フォトレジスト

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年2月
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