フォトレジスト

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2025年12月
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