フォトレジスト

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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