フォトレジスト

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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