フォトレジスト

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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