フォトレジスト

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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2025年12月
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