フォトレジスト

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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