フォトレジスト

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  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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