フォトレジスト

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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