フォトレジスト

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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