フォトレジスト

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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