フォトレジスト

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年12月
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