フォトレジスト

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年1月
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