フォトレジスト

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年1月
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