フォトレジスト

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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