フォトレジスト

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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