フォトレジスト

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年2月
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