フォトレジスト

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年9月
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