フォトレジスト

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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