フォトレジスト

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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