フォトレジスト

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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