フォトレジスト

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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