フォトレジスト

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  10. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2024年12月
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