フォトレジスト

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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