フォトレジスト

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  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

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  3. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  4. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  5. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  7. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  9. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  10. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

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