フォトレジスト

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年1月
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