フォトレジスト

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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