バイオクリーンベンチ

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年7月
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