ドラフトチャンバー

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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