ディスペンサーロボット

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  6. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  9. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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