エッチング装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年1月
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