イオンクロマトグラフ

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    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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