イオンクロマトグラフ

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  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
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