クリーン環境機器

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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