クリーン環境機器

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
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