ユーティリティ設備

コンプレッサー、冷却水製造装置、各種工場設備

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年12月
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