ユーティリティ設備
エアーコンプレッサー、発電機、冷却水製造装置、ボイラー、ガス精製装置、チラー
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チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化機械）
型式：CA-11…メーカー：EYELA（東京理化機械） 型式：CA-1115 …
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冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械）CA-2600-[M…
メーカー：東京理化器械製（EYELA） 型式：CA-2600循環方式：密閉系向循環 温度調節範囲：-10 ～35℃ 冷却能力：2500W/…
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
テイラーホブソン 型式：NewForm表面粗さ計は主に金属製品の加工面仕上がり確認など、表面の微小な凹凸の解析に使用されてい…
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS1500F-VW-[M24…
メーカー：オリオン機械 型式：RKS1500F-VW冷却能力：4.30kW/4.65kW冷却能力：4300W/4650W(50/60Hz)冷凍機により槽内の液を…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry60EU-082C-[M231212A01]
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CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]
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引張圧縮試験機 ORIENTEC（オリエンテック）STA-115…
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クリーンベンチ 昭和科学 S-1300WV-[M240209A01]
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所<br…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
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SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
