環境試験機・乾燥機オーブン

恒温槽、電気炉、オーブン、マッフル炉、インキュベーター、恒温恒湿槽、冷熱熱衝撃装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36C-[M220718A01]]

  5. ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

  6. CO2インキュベーター　サンヨー製　MCO-96-[M230718A…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スピンコーター　ミカサ製　MS-B100-[M240310A09]

  9. 引張圧縮試験機　ORIENTEC（オリエンテック）STA-115…

  10. クリーンベンチ　昭和科学　S-1300WV-[M240209A01]
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J

    樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所<br…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. FIB装置（集束イオンビーム装置）・SII・SMI9200IW

    FIB装置（集束イオンビーム装置）SII製<br>型式：SMI…
2024年5月
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