株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251