電力計

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年5月
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