電力計

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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