電力計

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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