株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100