株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…