電力計

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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