電力計

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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