電力計

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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