電力計

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年2月
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