電力計

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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