株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…