株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300