株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コ…
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J