電力計

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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