株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…