電力計

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
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