株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)