電力計

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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