電力計

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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