電力計

  1. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  3. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…

  5. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  6. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  7. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  8. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…

  10. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  1. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  2. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  3. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  4. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  7. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  8. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  9. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

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