電力計

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年5月
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