電力計

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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