株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
リアルタイムスペクトラムアナライザ テクトロニク…
プラズマクリーナー サムコ PC-300
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E