電力計

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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