株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…