電力計

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年6月
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