電力計

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年6月
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