電力計

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

  2. ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E

  3. 高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…

  4. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  5. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  6. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  9. スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH

  10. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…

  1. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  2. スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…

  3. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  4. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  5. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  7. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  8. ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100

  9. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  10. RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW

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