電力計

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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