電力計

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
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