電力計

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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