株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…