電力計

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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