電力計

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年2月
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