電力計

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年5月
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