株式会社未来産業技術研究所
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高周波電力計・東和電気・TDW-60A-K
電力増幅器、Power Amplifier、横河電機、705810
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…