電力計

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年5月
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