VOCセンサー

  1. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  8. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
2026年6月
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