真空蒸着

  1. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年11月
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