UV照射器

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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