UV照射器

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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